| 摘要 |
본 발명은 박막 형성을 위한 액적 발생 장치, 이를 포함하는 박막 형성 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 발생 장치는, 소스 용액을 수용하는 제1 용기 및 소스 용액으로부터 분무될 액적들을 형성하기 위한 에너지 소스를 포함하는 전구체 생성부, 제1 용기에 연통되어 소스 용액의 일부를 수용하는 제2 용기 및 제2 용기에 수용된 소스 용액의 일부의 레벨을 측정하는 센서부를 포함하는 레벨 센싱부 및 센세부에서 측정된 결과에 기초하여 에너지 소스에 인가되는 전기 에너지를 조절하여 분무될 액적들의 양이 일정하게 유지되도록 제1 용기에 수용된 소스 용액의 레벨을 미리 설정된 레벨로 유지시키는 레벨 제어부를 포함한다. |
