发明名称 Touch signal probe
摘要
申请公布号 GB9918054(D0) 申请公布日期 1999.10.06
申请号 GB19990018054 申请日期 1999.07.30
申请人 MITUTOYO CORPORATION 发明人
分类号 G01B7/00;G01B7/012;G01B21/00;H01L21/66;H01L41/09 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
主权项
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