发明名称
摘要
申请公布号 JP3992366(B2) 申请公布日期 2007.10.17
申请号 JP19980176511 申请日期 1998.05.20
申请人 发明人
分类号 H01J37/20;H01J37/317;H01J37/02;H01J37/077;H01L21/265 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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