发明名称 |
Polierkissen mit Rillenanordnung zur Minderung des Schlammverbrauchs |
摘要 |
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申请公布号 |
DE602004007598(T2) |
申请公布日期 |
2008.04.17 |
申请号 |
DE200460007598T |
申请日期 |
2004.11.04 |
申请人 |
ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS INC. |
发明人 |
MULDOWNEY, GREGORY P. |
分类号 |
B24B37/00;B24B37/04;B24B21/00;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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