| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SURFACE PROCESSING JIG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11317565(A) |
申请公布日期 |
1999.11.16 |
| 申请号 |
JP19980124368 |
申请日期 |
1998.05.07 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KURONAGA KOICHI;SATO FUMIAKI;IIDA SEIJI |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C16/44;C23C16/458;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/18 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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