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发明名称
摘要
申请公布号 JP3340308(B2) 申请公布日期 2002.11.05
申请号 JP19960087725 申请日期 1996.03.15
申请人 发明人
分类号 H01L29/205;H01L21/338;H01L29/66;H01L29/778;H01L29/78;H01L29/812;H01L29/88;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/205
代理机构 代理人
主权项
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