发明名称 Verfahren zum Herstellen einer integrierten Halbleiterschaltungsanordnung
摘要
申请公布号 DE10358325(B4) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 DE20031058325 申请日期 2003.12.12
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 DETZEL, THOMAS;FATHULLA, AHMAD
分类号 H01L21/768;H01L21/8234 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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