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经营范围
发明名称
MOCVD SYSTEM
摘要
申请公布号
KR100589821(B1)
申请公布日期
2006.06.14
申请号
KR20000042617
申请日期
2000.07.25
申请人
发明人
分类号
H01L21/31;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/448;H01L21/205
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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