发明名称 TIALN-BASED MULTI-LAYER HARD FILM WITH HIGH WEAR AND OXIDATION RESISTANCE
摘要
申请公布号 KR20060065321(A) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 KR20040104422 申请日期 2004.12.10
申请人 KOREA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 BAIK, YOUNG JOON;PARK, JONG KEUK
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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