发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100589570(B1) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 KR20040041629 申请日期 2004.06.08
申请人 发明人
分类号 H01L23/52;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/70;H01L21/78;H01L23/12;H01L29/74 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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