一种ZnO:Zn薄膜的制备方法

摘要

一种ZnO:Zn薄膜的制备方法，将ZnO粉末装在氧化铝或石英舟内，置于管式炉中煅烧，管式炉内填充N₂和H₂混合的弱还原性气体，管内的温度调节在700～800℃之间。在管式炉的排气端保温区边缘，放置一装置，此装置能够夹持基片，而且此装置可以流通气体或水等而获得合适的温度。当炉内的ZnO蒸发后沉积在夹具上的较冷的基片上，关闭管式炉，冷却后即可以获得在紫外线照射下发射明亮绿色光的ZnO:Zn薄膜。本发明提供了一种制备发射绿色光的ZnO:Zn薄膜的简单制备工艺，获得的薄膜与衬底的结合非常牢固。

主权项

1、一种ZnO:Zn薄膜的制备方法，其特征在于：将ZnO粉末装在氧化铝或石英舟内，置于管式炉中煅烧，管式炉内填充N2和H2混合的还原性气体，管内的温度调节在700～800℃之间；在管式炉的排气端保温区边缘，放置能够夹持基片的装置，当炉内的ZnO蒸发后沉积在夹具上的较冷的基片上，关闭管式炉，冷却后即可以获得在紫外线照射下发射明亮绿色光的ZnO:Zn薄膜。