发明名称 Verfahren zum Aufdampfen dünner Schichten im Vakuum und Draht zu seiner Ausführung
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufdampfen dünner Schichten im Vakuum aus einem Verdampfer (13) auf ein Substrat oder Werkstück und einen Draht (12) zu dessen Ausführung, wobei eine Verdampfereinrichtung (16) mittels einer Zuführeinrichtung (11) zumindest ein Draht (12) zugeführt wird, der Draht in die Verdampfereinrichtung vorgeschoben wird und der Draht in der Verdampfereinrichtung geschmolzen und verdampft wird, wobei ein Draht (12) mit einem als Polygon ausgebildeten Querschnittsprofil verwendet wird, welcher im Vergleich zu einem Draht mit einem Kreisquerschnittsprofil eine im Verhältnis zur Querschnittsfläche relativ große Mantelfläche (20) aufweist, sodass eine dem Schmelzpunkt eines Drahtwerkstoffes zumindest angenäherte Temperatur vor Eintritt des Drahtes (12) in eine in der Verdampfereinrichtung gebildete Schmelze im Draht erreicht wird.
申请公布号 DE102006026523(A1) 申请公布日期 2007.12.13
申请号 DE200610026523 申请日期 2006.06.06
申请人 BERKENHOFF GMBH 发明人 NOETHE, TOBIAS;HOLZAPFEL, REINER
分类号 C23C14/24;B21F99/00;C23C14/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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