发明名称 Optical method and apparatus for detecting low frequency defects
摘要
申请公布号 IL119850(A) 申请公布日期 2000.11.21
申请号 IL19960119850 申请日期 1996.12.17
申请人 PROLASER LTD. 发明人 VOKHMIN PETER
分类号 G01N21/896;G01N21/958;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/896
代理机构 代理人
主权项
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