一种碳纳米管制造方法

摘要

本发明提供一种碳纳米管制造方法，包括下列步骤：提供一表面排布有预定图案掩模的基底；在所述基底表面沉积多层催化剂金属膜及多层碳膜，形成一复合膜层；去除所述基底表面的掩模，获得具有与掩模预定图案相应图案的复合膜层；将所述复合膜层进行热处理，使多层催化剂金属膜及多层碳膜熔合形成含有金属碳化物的催化剂层；在所述催化剂层上进行化学气相沉积生长碳纳米管，获得具有与所述预定图案相应的图案的碳纳米管层。本发明提供的碳纳米管制造方法在碳纳米管生长过程中不会受环境条件的影响，能实现碳纳米管的稳定生长。

主权项

1.一种碳纳米管制造方法，包括以下步骤：提供一表面排布有预定图案掩模的基底；在所述基底表面沉积多层催化剂金属膜及多层碳膜，形成一复合膜层；去除所述基底表面的掩模，获得具有与掩模预定图案相应图案的复合膜层；将所述复合膜层进行热处理，使多层催化剂金属膜及多层碳膜熔合形成含有金属碳化物的催化剂层；在所述催化剂层上进行化学气相沉积生长碳纳米管，获得具有与所述预定图案相应的图案的碳纳米管层。