发明名称 Kapazitiver Drucksensor und zugehöriges Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE60031089(T2) 申请公布日期 2007.05.03
申请号 DE20006031089T 申请日期 2000.09.05
申请人 HITACHI LTD.;HITACHI CAR ENGINEERING CO. LTD. 发明人 YASUO, ONOSE;WATANABE, ATSUO;SEIJI, KURYU;SHINYA, SATOU;JUNICHI, HORIE;SATOSHI, SHIMADA
分类号 G01L9/12;G01L1/14;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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