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发明名称
Kapazitiver Drucksensor und zugehöriges Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号
DE60031089(T2)
申请公布日期
2007.05.03
申请号
DE20006031089T
申请日期
2000.09.05
申请人
HITACHI LTD.;HITACHI CAR ENGINEERING CO. LTD.
发明人
YASUO, ONOSE;WATANABE, ATSUO;SEIJI, KURYU;SHINYA, SATOU;JUNICHI, HORIE;SATOSHI, SHIMADA
分类号
G01L9/12;G01L1/14;G01L9/00;H01L29/84
主分类号
G01L9/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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