发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Dünnschichtsystems und Anwendung des Verfahrens
摘要
申请公布号 DE10051509(B4) 申请公布日期 2007.08.30
申请号 DE2000151509 申请日期 2000.10.18
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 WINKLER, TORSTEN;GOEDICKE, KLAUS;BLUETHNER, RALF;JUNGHAEHNEL, MICHAEL;BUCHBERGER, HANS;MUELLER, MANFRED;HEBGEN, ARNO;SCHNEIDER, HANS-HERMANN
分类号 C23C14/35;C23C16/515 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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