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Verfahren und Vorrichtung (10) zur Temperaturbehandlung von Werkstücken oder Bauteilen, insbesondere zur Herstellung einer Lotverbindung zwischen einem Lotmaterial und zumindest einem als Lotmaterialträger dienenden Bauteil oder Werkstück durch Aufschmelzen des auf dem Lotmaterialträger angeordneten Lotmaterials, bei dem eine Beheizung und in einem nachfolgenden Verfahrensschritt ein Abkühlen zumindest eines Bauteils in einer von der Umgebung abgeschlossenen Prozesskammer erfolgt, wobei die Beheizung und das Abkühlen des Bauteils (19) in zwei durch eine Kondensationseinrichtung (15) voneinander trennbaren Kammerbereichen (13, 14) der Prozesskammer (12) erfolgen.
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