| 摘要 |
走査透過型電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）システムが開示される。システムはそれぞれの走査が該走査の過程にわたって電子照度を変化させるように、サンプルの略全体にわたって複数の電子線走査が生成されるように設計された電子線走査システムを使用してもよい。信号取得システムは、画像を含む位置にあるすべての画素の内の副次的な複数（subplurality）の画素の選択または線形結合の少なくとも一つのみから表現される、画像、回折パターン、またはスペクトルの内少なくとも一つを取得するために使用されてもよい。データセットは上記情報から生成されてもよい。サブシステムは、画像に位置するそれぞれの画素により生成される実際の情報を予測するために、上記データセットを数学的に解析するために使用されてもよい。 |
