| 发明名称 |
ION SOURCE AND ATTENUATOR FOR IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11317175(A) |
申请公布日期 |
1999.11.16 |
| 申请号 |
JP19990046419 |
申请日期 |
1999.02.24 |
| 申请人 |
EATON CORP |
发明人 |
BRAILOVE ADAM ALEXANDER;SATO MASATERU |
| 分类号 |
H01J27/08;H01J27/16;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/08 |
主分类号 |
H01J27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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