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发明名称 Coating apparatus and coating method
摘要
申请公布号 SG68652(A1) 申请公布日期 1999.11.16
申请号 SG19980000474 申请日期 1998.03.02
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 FUJIMOTO AKIHIRO
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;B05C11/10 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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