| 发明名称 |
Continuous gas saturation system and method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG68712(A1) |
申请公布日期 |
1999.11.16 |
| 申请号 |
SG19990001250 |
申请日期 |
1999.02.25 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
NURMI, DOUGLAS, B. |
| 分类号 |
H01L21/223;C23C16/44;C23C16/448;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/223 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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