中空阴极电浆产生装置

主权项

一种中空阴极电浆产生装置，系包括：复数个中空阴极电浆源单模组组成之组合，该中空阴极电浆源单模组系运用一电源供应器提供电源在真空环境下产生电浆，该中空阴极电浆源单模组，系包括：一中空阴极凹槽，该中空阴极凹槽系开于该中空阴极电浆源单模组之一侧；一中空阴极鳍片，该中空阴极鳍片系设于该中空阴极电浆源单模组外缘；一气体导管，该气体导管系设于该中空阴极凹槽下方；以及一冷却水导管，该冷却水导管系设于该气体导管下方。