制造液晶显示器件的方法

摘要

提供了一种制造液晶显示器件的方法。该制造液晶显示器件的方法包括在从以下掩模工艺中选择的一个或两个掩模工艺中执行交叠分区曝光工艺：用于形成选通线的掩模工艺；用于形成有源层的掩模工艺；用于形成源极/漏极的掩模工艺；和用于在钝化层上形成接触孔的掩模工艺。

主权项

1. 一种制造液晶显示器件的方法，该方法包括：对第一多个掩模工艺应用第一曝光工艺，该第一曝光工艺应用于被划分为第一曝光区域的区域；以及对第二多个掩模工艺应用第二曝光工艺，该第二曝光工艺应用于被划分为第二曝光区域的区域，其中第二曝光工艺产生交叠区域；以及其中第一多个掩模工艺的数量等于或大于第二多个掩模工艺的数量，其中应用第二曝光工艺的步骤包括对有源层掩模工艺、钝化层掩模工艺和像素电极掩模工艺应用第二曝光工艺。