Ionenstrahlgerät,申请号DE19966037765-传众专利搜索

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发明名称	Ionenstrahlgerät
摘要
申请公布号	DE69637765(D1)	申请公布日期	2009.01.08
申请号	DE19966037765	申请日期	1996.07.19
申请人	APPLIED MATERIALS INC.	发明人	BURGIN, DAVID RICHARD;POVALL, SIMON;LOOME, DAVID
分类号	H01J37/15;H01J27/02;H01J27/08;H01J37/08	主分类号	H01J37/15
代理机构		代理人
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