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[과제] 결함이 적은 실리카질막을 형성할 수 있는 퍼하이드로폴리실라잔과 이를 포함하는 경화용 조성물의 제공. [해결 수단] 본 발명에 의하면, 중량 평균 분자량이 5,000 이상 17,000 이하인 퍼하이드로폴리실라잔으로서, 상기 퍼하이드로폴리실라잔을 크시롤에 용해시킨 17중량% 용액의H-NMR을 측정했을 때, 크시롤의 방향족환 수소의 양을 기준으로 한 SiH의 양의 비가 0.235 이하, NH의 양의 비가 0.055 이하인 것을 특징으로 하는 퍼하이드로폴리실라잔과, 이를 포함하는 경화용 조성물이 제공된다. 본 발명은, 그 경화용 조성물을 기재 위해 도포하고, 가열하는 것을 포함하는 실리카질막의 형성 방법도 제공하는 것이다. |
