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发明名称
半導体チップ検査装置
摘要
半導体チップ検査装置に関する発明が開示される。開示された発明は、下部に載置溝が形成されるガイドプレートと、ガイドプレートの下部に結合され、上部には上部半導体チップが載置溝内に位置するように実装される基板と、基板の下部パターンと接触した状態で、ガイドプレートの下部に結合される上部ポゴピンが上部に突出形成され、下部には下部ポゴピンが突出形成される上部ソケットと、下部ポゴピンの接触する下部半導体チップが上部に載置される下部ソケットとを含む。
申请公布号
JP2016533508(A)
申请公布日期
2016.10.27
申请号
JP20160545672
申请日期
2014.09.11
申请人
エヌティーエス・カンパニー・リミテッド
发明人
チャン、テ・ヨウン
分类号
G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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