发明名称 半导体装置之制法
摘要
申请公布号 TWI350572 申请公布日期 2011.10.11
申请号 TW096140924 申请日期 2007.10.31
申请人 聯測科技股份有限公司 新竹市科學工業園區力行三路2號 发明人 蔡宪聪 台北市信义区松高路90号13楼
分类号 H01L21/56;H01L21/60;H01L21/50 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人 陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼
主权项 一种半导体装置之制法,系包括:提供基板与晶片,该基板具有第一表面,该第一表面具有复数电性连接垫且覆盖有一绝缘层,该绝缘层形成有开口以露出该电性连接垫,且该晶片具有主动面与非主动面,该主动面设有复数凸块;于该基板第一表面上形成填充材;以及压合该晶片与基板,以覆晶方式电性连接该凸块与该电性连接垫,并使该填充材分布于该晶片与基板之间而形成填充层,以制得半导体装置。
地址 新竹市科学工业园区力行三路2号