| 摘要 |
<p>본 발명은 노광용 LED 램프 및 이를 이용한 노광장치에 관한 것으로, 노광장치를 구성하는 노광용 자외선 램프를 다수의 LED 소자가 모듈화된 LED 모듈과 LED 모듈의 발열을 냉각시키는 냉각수단으로 구성함으로써 노광용 자외선 램프의 수명을 향상시켜 노광용 자외선 램프의 교체에 따른 소요비용의 절감과 노광용 자외선 램프의 교체시 공정 라인을 일정시간 멈추어야 하는 등의 손실을 방지할 수 있도록 함에 그 목적이 있다. 이를 위해 구성되는 본 발명은 자외선 광원을 이용하여 글라스 기판의 원하는 부분에 회로 패턴을 형성하는 노광장치에 있어서, 회로 패턴이 형성된 PCB 기판에 LED 소자를 일정하게 배열하되 LED 소자의 발광에 의해 발생되는 열을 냉각시키는 수단으로 구성되어 노광용 광원을 발광시키는 노광용 LED 램프 유닛; 노광용 LED 램프 유닛의 LED 소자를 보호하는 보호 글라스; 노광용 LED 램프 유닛의 점등에 의해 발생되는 불안정한 자외선 광인 노광용 광원을 균일한 광원으로 변화시키는 플라이아이 렌즈(Flyeye Lens); 플라이아이 렌즈를 통해 균일하게 변화된 산란광 형태의 광원을 1차적으로 평행광 형태로 만들어 주는 1차 콘덴서 렌즈(Condenser Lens); 1차 콘덴서 렌즈에 의해 1차적으로 평행광 형태로 만들어진 광원을 정밀한 평행광으로 집광하여 글라스 기판에 조사되도록 하는 2차 콘덴서 렌즈(Condenser Lens); 및 글라스 기판의 원하는 부분에만 자외선 광이 노출될 수 있도록 하는 마스크(Mask 또는 Aperture)를 포함한 구성으로 이루어진다.</p> |
