发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR FABRICATING CMOS FIELD EFFECT TRANSISTORS
摘要
申请公布号 EP1668695(A1) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 EP20040766739 申请日期 2004.09.08
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CABRAL, CYRIL, JR.;IEONG, MEIKEI;KEDZIERSKI, JAKUB
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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