激波压力扰动辅助电火花加工高深宽比微细结构的装置

摘要

一种激波压力扰动辅助电火花加工高深宽比微细结构的装置与方法，属微细电火花加工领域，其装置包括激波发生器(12)，激波发生器电源(16)，装有电极夹头(14)的工具电极(13)，所述激波发生器，由环状聚焦超声换能器(1)，密封垫(2)，导向器绝缘套(3)，微细电极导向器(4)，端盖(5)及进电座(6)所组成；其方法，采用脉冲超声波聚焦方法，产生高能聚焦超声波，在加工区的固液表面形成具有瞬时高压效应的压力激波，对加工区产生定向瞬时压力脉冲压力扰动，促进电火花加工蚀除物的排除。该发明结构简单，使用方便，可产生具有瞬时高温高压效应的压力激波，不但促进微细电火花加工蚀除产物的排除，而且不影响加工区工艺系统的稳定性，有利于提高加工效率和加工精度。

主权项

权利要求书1、一种激波压力扰动辅助电火花加工高深宽比微细结构的装置，包括工件(11)、激波发生器(12)、工具电极(13)、电极夹头(14)、与激波发生器(12)相连接的激波发生器电源(16)，其中所述的激波发生器(12)固定在激波发生器定位夹具(15)上，工具电极(13)上端装有电极夹头(14)，工具电极(13)下端与工件(11)相连，其特征在于，所述激波发生器(12)与工件(11)不接触，该激波发生器(12)包括环状聚焦超声换能器(1)、密封环(2)、导向器绝缘套(3)、微细电极导向器(4)、端盖(5)、进电座(6)，所述的聚焦超声换能器(1)与工具电极(13)同轴安装，端盖(5)通过密封环(2)连于环状聚焦超声换能器(1)上端，微细电极导向器(4)安装于导向器绝缘套(3)的中心孔内，导向器绝缘套(3)穿过端盖(5)中心孔装于环状聚焦超声换能器(1)的中心孔内，进电座(6)装在端盖(5)上。