| 发明名称 | 微透镜结构参数及面形畸变的快速检测方法 | ||
| 摘要 | 微透镜结构参数及面形畸变的快速检测方法，首先采用光束照射微透镜表面，再采集一定距离处光通过微透镜阵列后的衍射光斑，并测量微透镜衍射光斑各个方向的尺寸，由测得的衍射光斑数据和微透镜口径计算微透镜矢高、焦距、数值孔径等其他的结构参数；再根据衍射光斑形变因子χ，查表得出微透镜阵列的填充因子。本发明不仅可用于检测微透镜的矢高、焦距、数值孔径等参数，而且还可用于检测微透镜阵列的填充因子、像散及透镜均匀性，而且检测方便、速度快，检测过程为非接触式检测，不会给元件带来任何损伤。 | ||
| 申请公布号 | CN100343622C | 申请公布日期 | 2007.10.17 |
| 申请号 | CN03123570.0 | 申请日期 | 2003.05.29 |
| 申请人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明人 | 董小春;杜春雷;陈波 |
| 分类号 | G01B11/00(2006.01);G01M11/00(2006.01);G01D5/26(2006.01) | 主分类号 | G01B11/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人 | 刘秀娟 |
| 主权项 | 1、微透镜结构参数及面形畸变的快速检测方法，其特征在于包括下列步骤：(1)采用光束照射微透镜表面；(2)采集一定距离处光通过微透镜阵列后的衍射光斑，并测量微透镜衍射光斑的各个方向尺寸；(3)由所测得的衍射光斑各个方向尺寸和微透镜口径计算微透镜矢高、焦距、数值孔径结构参数；(4)将有缺陷微透镜阵列的衍射光斑与无缺陷微透镜衍射光斑进行对比，并根据微透镜衍射光斑的各个方向尺寸计算出衍射光斑畸变因子χ，其中(5)根据衍射光斑畸变因子χ与微透镜阵列的填充因子的关系，查表得出微透镜阵列的填充因子；微透镜填充因子与光斑畸变因子之间的关系的表格，δ为填充因子，χ为衍射光斑畸变因子： | ||
| 地址 | 610209四川省成都市双流350信箱 | ||