常压放电冷等离子体发生器

摘要

一种常压放电冷等离子体发生器，属于等离子体技术领域。该发生器包括上隔板、射频电极、下隔板和地电极；射频电极与射频电源连接，地电极与射频电源地线连接；上隔板覆盖于射频电极上。其特征在于，射频电极设有突起的平行板条，地电极、下隔板上均设有与射频电极的板条相匹配的窄槽，射频电极的平行板条可以穿过下隔板的窄槽，平行穿插于地电极的窄槽之间或穿过地电极的窄槽再平行穿插于地电极的平行板条之间；在射频电极的平行板条和地电极的窄槽之间或者和窄槽及平行板条之间形成等离子体放电室；下隔板内部设有纵横交叉的气体通道，可将工作气体均匀分配到各个放电室，通过施加电压，于常压下产生大体积的均匀的等离子体射流。

主权项

常压放电冷等离子体发生器，包括上隔板（6）、射频电极（7）、下隔板（8）和地电极（9），射频电极（7）与射频电源（5）连接，地电极（9）与射频电源地线连接，上隔板（6）覆盖于射频电极（7）上，其特征在于，下隔板（8）内部设有纵横交叉的气体通道（12），射频电极（7）设有突起的平行板条，地电极（9）、下隔板（8）上均设有与射频电极（7）的板条相匹配的窄槽，射频电极（7）的平行板条可以穿过下隔板（8）的窄槽（13），平行穿插于地电极（8）的窄槽之间；在射频电极（7）的平行板条和地电极（9）的窄槽之间形成等离子体放电室（10）。