| 摘要 |
Ein Schleifstein zum Schleifen eines Werkstücks ist offenbart. Der Schleifstein beinhaltet Diamantschleifkörner und eine Borverbindung. Die Diamantschleifkörner und die Borverbindung sind mit einem vorgegebenen Volumenverhältnis gemischt. Die durchschnittliche Korngröße Y der Diamantschleifkörner ist auf 0 μm < Y ≤ 50 μm eingestellt. Das Verhältnis Z der durchschnittlichen Korngrößen der Borverbindung zu den Diamantschleifkörnern ist auf 0,8 ≤ Z ≤ 3,0 eingestellt. Vorzugsweise ist das Werkstück ein Siliziumwafer und das Verhältnis Z der durchschnittlichen Korngrößen auf 0,8 ≤ Z ≤ 2,0 eingestellt. |
