掩模对位装置及其对位方法

摘要

本发明涉及一种掩模对位装置及其对位方法，掩模框架3放于对位基台4上，使其侧面与销钉5、6、7相接触；再将掩模板11水平放置在掩模框架3上，保证二者紧密贴合；通过CCD准确捕捉掩模板11及掩模框架3上的对位孔13、14和对位孔1、2；通过装置自带软件读出两孔对位孔1与13、2与14的最大偏差值L；若差值超出±15μm，调整销钉然后再用CCD捕捉掩模板及掩模框架上的对位孔1和13、以及2和14，再次读取两组对位孔之间相对偏差值L；像这样重复微调读取，直至L控制在±15μm。本发明能够使掩模板与掩模框架精确对位，并使其位置偏差控制在±15μm内。

主权项

一种掩模对位方法，其使用一种掩模对位装置实现，其特征在于，步骤包括：将掩模框架放于对位基台上，使其侧面与销钉相接触；将掩模板水平放置在掩模框架上，保证二者紧密贴合；通过CCD准确捕捉掩模板及掩模框架上的对位孔；通过装置自带软件读出相对应的对位孔的最大偏差值；若差值超出±15μm，调整销钉；再次用CCD 捕捉掩模板及掩模框架上的对位孔，读取两组对位孔之间相对偏差值；重复读取两组对位孔的偏差值，直至控制在±15μm，所述掩模对位装置包括基台、销钉、拉动装置，所述掩模板、所述掩模框架、所述销钉和所述拉动装置均位于基台上，所述掩模板和所述掩模框架上分别具有对位孔，所述销钉可以通过所述拉动装置微调其位置。