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发明名称 LOW CHARGING DIELECTRIC FOR CAPACITIVE MEMS DEVICES AND METHOD OF MAKING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1834344(A1) 申请公布日期 2007.09.19
申请号 EP20050854397 申请日期 2005.12.19
申请人 NORTHROP GRUMMAN CORPORATION 发明人 CRAMER, HARLAN, C.;HORNER, ROBERT, J.;KIRBY, CHRISTOPHER, F.;TRANCHINI, ROBERT, C.;HOWELL, ROBERT, S.;HORNER, JEREMIAH, J.;DIX, GILBERT, E.;DESALVO, GREGORY, C.
分类号 H01H1/00 主分类号 H01H1/00
代理机构 代理人
主权项
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