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发明名称
摘要
申请公布号
JP3994389(B2)
申请公布日期
2007.10.17
申请号
JP20030106519
申请日期
2003.04.10
申请人
发明人
分类号
H01L21/60;H01L23/12
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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