发明名称 | 基板处理装置 | ||
摘要 | 本发明提供一种基板处理装置,能更可靠地防止处理液(雾滴)侵入相邻的处理室。该基板处理装置具有对基板(S)实施药液处理的湿式处理部(2)和对基板(S)实施作为前处理的干式清洗等处理的前处理部(1)。各处理部(1、2)的处理室(10、20)经由开口部(11a)而连通,该开口部(11a)可通过设置在前处理部(1)一侧的闸门装置(14)和设置在湿式处理部(2)一侧的闸门装置(24)进行开闭。此外,在前处理部(1)的处理室(10)内配备有在开口部(11a)处于打开状态时对开口部(11a)向湿式处理部(2)一侧喷出空气的空气喷嘴(19a、19b)。 | ||
申请公布号 | CN101378001A | 申请公布日期 | 2009.03.04 |
申请号 | CN200810124894.X | 申请日期 | 2008.06.25 |
申请人 | 大日本网目版制造株式会社 | 发明人 | 上代和男;松井久明 |
分类号 | H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 马少东;徐恕 |
主权项 | 1.一种基板处理装置,具有向基板供给处理液并对基板实施规定的湿式处理的湿式处理室,通过形成在所述湿式处理室的隔壁上的基板运送用的开口部,对所述湿式处理室进行基板的运入运出,其特征在于,具有:闸门装置,其用于开闭所述开口部;气流形成装置,其包括配置在所述湿式处理室的室外的喷嘴构件,并且至少在所述开口部处于开口状态时,使气体从所述喷嘴构件喷出,由此形成朝向所述开口部的气流。 | ||
地址 | 日本京都府京都市 |