Vorrichtung und Verfahren zur Analyse von kristallinen Materialien mittels Rückstreuelektronenbeugung

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Analyse von kristallinen Materialien mittels Rückstreuelektronenbeugung, wobei die Primärelektronen für die Bestrahlung eines Probenorts mit Hilfe eines polarisierbaren Materials (1) erzeugt werden, das einen pyroelektrischen, piezoelektrischen und/oder ferroelektrischen Effekt zeigt.