| 摘要 |
본 발명은, 비용을 절감하고, 스페이스의 감소도 가능하게 한 유체 제어 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 유체 제어 장치(1)는, 유체 제어부(2)와 유체 도입부(3)를 포함하고 있다. 유체 도입부(3)는, 3개로 나누어져 있고, 입구측에 배치되어 각각 2×N/2개의 개폐 밸브(23)로 이루어진 제1 및 제2 입구측 차단 개방부(5, 6)와, 4×M개의 개폐 밸브(23)로 이루어지며, 제1 및 제2 입구측 차단 개방부(5, 6)와 유체 제어부(2) 사이에 배치된 유체 제어부측 차단 개방부(7)를 포함한다. |
