发明名称 TITANIUM METAL TREATMENT METHOD, METHOD OF FORMING AN ELECTRICALLY CONDUCTIVE INTERCONNECT, AND METHOD OF REDUCING CONTACT RESISTANCE OF AN ELEMENTAL TITANIUM CONTACT
摘要 <p>Selon un aspect de l'invention, le procédé de traitement d'un métal contenant du titane consiste à: a) former une masse de métal contenant du titane et dont la surface externe est découverte; et b) soumettre cette surface externe découverte du métal contenant du titane à un plasma contenant de l'hydrogène et de l'azote, le plasma étant pratiquement vide de tout composant de titane séparé. Selon un autre aspect de cette invention, le procédé de fabrication d'une interconnexion électroconductrice placée entre un point interne et un point externe consiste à: a) créer un premier emplacement de noeud où doit être réalisée la connexion électrique au niveau d'un premier point interne; b) former une masse de métal contenant du titane sur le premier emplacement de noeud et en connexion électrique avec celui-ci, cette masse de métal contenant du titane comportant une surface externe découverte; c) soumettre cette surface externe découverte à un plasma comprenant de l'hydrogène et de l'azote, le plasma étant pratiquement vide de tout composant de titane séparé; et d) former un composant de circuit électroconducteur vers l'extérieur de la surface externe traitée au plasma et en connexion électrique avec celle-ci, la masse de métal contenant du titane étant placée entre le premier emplacement de noeud et le composant du circuit électroconducteur. Cette invention est destinée à être utilisée dans la réduction de la résistance d'un contact contenant du titane élémentaire, cette résistance électrique s'effectuant dans au moins la partie extérieure de ce contact.</p>
申请公布号 WO1998043284(A1) 申请公布日期 1998.10.01
申请号 US1998006170 申请日期 1998.03.27
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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