SiC-Wärmebehandlungshaltevorrichtung

摘要

Es ist eine SiC-Wärmebehandlungshaltevorrichtung vorgesehen, auf die eine glasartige Platte aufzubringen ist, auf deren Oberfläche Filme mit entsprechend vorgegebenen Funktionen ausgebildet worden sind, wenn die glasartige Platte einer Wärmebehandlung unterzogen wird. Sie SiC-Wärmebehandlungshaltevorrichtung enthält mindestens 50 Gew.-% SiC-haltige Phase, ihre Wärmeleitzahl beträgt mindestens 10 W/mK, ihre Scheinporosität 0,2 bis 25% und ihr Wärmeausddehnungskoeffizient 3,8 x 10·-6·/ DEG C bis 5,5 x 10·-6·/ DEG C.