| 发明名称 |
修整盘上之活性磨粒数的测量方法 |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
TWI353284 |
申请公布日期 |
2011.12.01 |
| 申请号 |
TW096134663 |
申请日期 |
2007.09.17 |
| 申请人 |
三菱綜合材料股份有限公司 日本;亞拉卡有限公司 美國 |
发明人 |
波鲁奇 利奥纳多;力田直树 |
| 分类号 |
B24B53/00;B24B53/12 |
主分类号 |
B24B53/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
洪武雄 台北市中正区博爱路35号9楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼 |
| 主权项 |
一种修整盘上之活性磨粒数的测量方法，其特征为具备：(a)以使修整盘的磨粒含有面与检查体的硬质面相对向之方式，使修整盘接触于硬质面之步骤；(b)以令存在于修整盘的前述磨粒含有面上之任意活性磨粒留下对应各活性磨粒的痕迹之方式，在朝向前述硬质面施加负载于修整盘的状态下使前述修整盘沿着前述硬质面移动而在前述硬质面形成刮伤之步骤；以及(c)计数形成在前述硬质面之前述刮伤，而测量前述修整盘上的活性磨粒数之步骤。 |
| 地址 |
美国 |
