Verfahren und System zum Überwachen von Prozessen in einer thermischen Prozesskammer

摘要

Die Erfindung betrifft unter anderem ein Verfahren zum Überwachen von Prozessen in einer thermischen Prozesskammer mittels einer Kamera, wobei mit der einen Kamera ein Bild aufgenommen wird, wobei die eine Kamera einen Sensor, eine Steuereinheit und einen Energiespeicher zur Versorgung der einen Kamera mit elektrischer Energie umfasst. Vorgesehen ist, dass die Kamera einen thermisch isolierenden Behälter aufweist, wobei der Sensor, die Steuereinheit und der Energiespeicher innerhalb des thermisch isolierenden Behälters angeordnet sind und wobei die Kamera während des Aufnehmens des Bildes sich vollständig innerhalb der Prozesskammer befindet.