METHODS OF FORMING PHOTOLITHOGRAPHIC PATTERNS

摘要

네가티브 톤(tone) 현상 공정을 이용하여 포토리소그래픽 패턴을 형성하는 방법이 제공된다. 또한 상기 방법에 의해 형성된 코팅된 기판 및 전자 장비가 제공된다. 본 방법은 특히 전자 장비의 제조에 적용가능하다.