Wärmeabführvorrichtung für Turbomolekularpumpe

摘要

Wärmeabführvorrichtung (100) für eine Turbomolekularpumpe (102) zum Erzeugen eines Vakuums in einem zu evakuierenden Raum (104), wobei die Wärmeabführvorrichtung (100) eine Innenringstruktur (106), eine Außenringstruktur (108), eine Elastikstruktur (110) zum elastischen Koppeln der Innenringstruktur (106) mit der Außenringstruktur (108) und eine Wärmeleitstruktur (112) zum Wärmeleiten zwischen der Innenringstruktur (106) und der Außenringstruktur (108) aufweist.