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发明名称
摘要
申请公布号
EP0812007(A3)
申请公布日期
1998.01.14
申请号
EP19970107875
申请日期
1997.05.14
申请人
NEC CORPORATION
发明人
分类号
H01L21/3205;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/310
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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