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发明名称 VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG PORÖSEN SILICIUMS
摘要
申请公布号 AT221253(T) 申请公布日期 2002.08.15
申请号 AT19960919582T 申请日期 1996.05.20
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH 发明人 BERGER, MICHAEL;THOENISSEN, MARKUS;GRAEBER, JUERGEN;KRUEGER, MICHAEL;MARSO, MICHEL;MUENDER, HERBERT;GLUECK, OLAF;ARENS-FISCHER, RUEDIGER;LUETH, HANS
分类号 C25F3/14;G02B6/12;G02B6/122;G02B6/136;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C25F3/14
代理机构 代理人
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