| 摘要 |
자기 정렬 게이트 에지 및 로컬 상호접속 구조들, 및 자기 정렬 게이트 에지 및 로컬 상호접속 구조들의 제조 방법이 설명된다. 일례에서, 반도체 구조는 기판 위에 배치되고 제1 방향으로 길이를 갖는 반도체 핀을 포함한다. 게이트 구조가 반도체 핀 위에 배치되며, 게이트 구조는 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 제2 단부에 대향하는 제1 단부를 갖는다. 게이트 에지 분리 구조들의 쌍이 반도체 핀의 중앙에 배치된다. 게이트 에지 분리 구조들의 쌍 중 제1 게이트 에지 분리 구조가 게이트 구조의 제1 단부에 바로 인접하게 배치되고, 게이트 에지 분리 구조들의 쌍 중 제2 게이트 에지 분리 구조가 게이트 구조의 제2 단부에 바로 인접하게 배치된다. |
