| 摘要 |
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는, 그 내부에 기판이 제공되며, 상기 기판 상에 증착 공정이 수행되는 증착 영역과 상기 증착 영역의 적어도 일측에 제공된 대기 영역을 포함하는 챔버, 상기 챔버 내부에 제공되며 증착 재료를 방출하는 증착원, 상기 증착원에 인접하게 배치되며 상기 증착 재료의 방출 방향 각도를 제한하는 2매 이상의 각도 제한판들, 및 상기 증착원의 상부를 커버하며 상기 기판에 증착되지 않은 여분의 증착 재료를 포집하는 포집기를 포함한다. 상기 포집기는 상기 대기 영역에 제공된다. |
