一种生产多孔海绵类金属的设备

摘要

一种多孔类海绵金属的生产设备，它包括壳体及与壳体相连接的真空系统，壳体上开有门，并设有推拉式小车，磁控溅射阴极、被镀物卷绕机构及门体安装在小车上，磁控溅射阴极分两列平行安装，每列至少包含有一个靶极，被镀物卷绕机构包括由电机拖动的收、放料辊筒和牵引辊，在收、放料辊筒与牵引辊之间安装有过渡辊，并装有线速度传感器，牵引辊的径向表面上设有压力辊。被镀物在磁控溅射区域内所受力除被镀物自身的重力之外，其横断面的拉力近似于零，所以被镀物不会产生变形，完全适合于海绵类物体的镀制要求。可以一次性完成两面的膜层镀制，生产效率高，成本低，适合于工业化生产。由于两排靶极平行安装，且与被镀物平行，所以镀制的膜层均匀。

主权项

1、一种多孔类海绵金属的生产设备，它包括壳体及与壳体相连接的真空系统和充气系统，在壳体中安装有磁控溅射阴极和被镀物卷绕机构，其特征在于壳体上开有门，并设有推拉式小车，磁控溅射阴极、被镀物卷绕机构及门体安装在小车上，磁控溅射阴极分两列平行安装，每列至少包含有一个靶极，被镀物卷绕机构包括由电机拖动的收、放料辊筒和牵引辊，在收、放料辊筒与牵引辊之间安装有过渡辊，并装有线速度和张力传感器，还有两个与壳体绞接的压力辊分别压紧在两个牵引辊的径向表面上。